第349章 张江的不眠夜（1/2）

10月的沪市张江，秋雨连绵。空气中弥漫着湿润的泥土气息，但在张江高科园区内，这种气息被一种更为紧张、精密的工业味道所掩盖。

这里是华夏集成电路产业的心脏，每一次搏动都牵动着无数人的神经。

一列黑色车队缓缓驶入中芯国际的厂区大门。

林星石坐在车后座，目光透过沾满雨珠的车窗，打量着这座承载着国家半导体希望的工厂。

他身边的周振则显得有些坐立不安，手指在膝盖上无意识地敲击着，那是老程序员思考代码逻辑时的习惯动作。

“老周，放松点。”林星石转头笑了笑，“我们是来帮忙的，不是来砸场子的。”

“我是怕这群搞硬件的看不起咱们搞软件的。”周振推了推眼镜，语气里带着一丝倔强，“在他们眼里，代码是虚的，只有看得见摸得着的晶圆才是实的。”

车停在行政大楼前。中芯国际的灵魂人物，张汝京博士已经带着高管团队在门口等候。

尽管岁月在他脸上刻下了痕迹，但这位“华夏半导体教父”依然精神矍铄，目光如炬。

“林院士，欢迎欢迎！”张汝京大步走上前，握住了林星石的手。他的手掌干燥有力，带着常年在一线工作的粗糙感，“早就听说星火科技在eda上有大动作，今天终于把你们盼来了。”

林星石谦逊地回应，随后介绍了身后的周振和三十名精锐工程师团队，“这是我们星火eda攻坚组的全部家底了。”

寒暄过后，一行人直奔会议室。

会议室里的气氛并没有门口那么融洽。长桌的一侧坐着中芯国际的核心技术团队，清一色的资深工程师，年纪普遍在四十岁以上。

他们看着对面这群平均年龄不到三十岁、穿着卫衣牛仔裤的星火工程师，眼神中流露出的不仅是审视，甚至带着几分怀疑和轻视。

坐在张汝京左手边的是中芯工艺集成部的总监邱国华，一位在半导体行业摸爬滚打了二十年的老兵。他手里转着一支笔，目光犀利地盯着林星石。

“林院士，”邱国华率先开口，语气虽然客气，但锋芒毕露，“我看了你们发来的方案。‘虚拟制造’？基于ai大数据的工艺预测？坦白说，这听起来很科幻。但在座的各位都是和硅原子打了一辈子交道的人，我们更相信doe（实验设计）跑出来的数据。”

doe，半导体工艺研发的金科玉律。通过设计一系列实验，调整参数，通过实际流片来验证结果。这是最稳妥，也是最昂贵、最耗时的方法。

林星石微微一笑，并没有被对方的气势压倒。

“邱总监，传统的doe确实稳妥。但我们现在面临的是22nm制程的攻关。光刻参数的组合是指数级增长的。如果按照传统流程，每一轮doe流片需要两个月，我们还有多少个两个月可以浪费？”

“那也比相信电脑算出来的‘算命’结果要强。”邱国华毫不客气地反驳，“物理世界的复杂性，不是你们几行代码就能模拟的。光刻胶的厚度波动、刻蚀速率的非均匀性、炉管温度的微小漂移……这些变量，你们的ai能算得准？”

会议室里响起了一阵低低的附和声。这是“硬科技”对“软科技”的天然傲慢。

林星石站起身，走到白板前。他没有辩解，而是拿起马克笔，在白板上画出了一个复杂的晶体管截面图。

“我在来之前，研究了你们上个月失败的那批28nm改进型晶圆的数据。”林星石的声音平静而自信，仿佛在陈述一个真理。

他手中的笔快速移动，写下了一串复杂的微分方程组，紧接着列出了几个关键参数。

“你们在做多晶硅栅极刻蚀的时候，为了追求侧壁的垂直度，把主刻蚀气体的流量加大了15%。这确实改善了形貌，但你们忽略了，这种气体配比在高能等离子体环境下，会与光刻胶发生微观层面的交联反应，导致后续去胶不净，最终在源漏极区域形成了极其微小的残余物。”

林星石转过身，目光如电，直视邱国华：“如果我没猜错，那批晶圆的良率死在了接触孔电阻过大上，而且你们查了两个星期，换了三种清洗液都没解决，对吗？”

会议室里瞬间安静下来，落针可闻。

邱国华手中的笔停住了，他瞪大了眼睛，脸上写满了难以置信。这件事是内部的高度机密，而且原因他们至今还在排查中，只怀疑是清洗问题，根本没往刻蚀气体配比上想。

“你……你怎么知道？”邱国华的声音有些干涩。

“数据告诉我的。”林星石指了指自己的脑袋，“在星火的‘虚拟制造’系统中，我们将所有的物理化学参数都进行了建模。只要输入原始数据，系统就能推演出微观层面的物理反应。这就是大数据的力量。”

其实，这不仅仅是大数据的力量。这是林星石利用系统赋予的超强脑力，结合收集的信息和数据，在脑海中进行了一次超高精度的“思维模拟”。

张汝京眼中闪过一道精光，他敏锐地捕捉到了这一刻的转折，当机立断拍板道：“好！那就这么定了。邱总监，把核心数据向星火团队开放。接下来的工艺调试，以星火的方案为主，传统doe作为备份验证。”

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获得了授权，真正的战斗才刚刚开始。

林星石将带来的三十人团队直接编入了中芯的各个关键制程模组——光刻、刻蚀、薄膜、扩散。

中芯国际的工程师们很快就见识到了什么叫做“星火速度”。

在张江的一间专门开辟的大型机房里，三十名星火工程师一字排开。他们面前是三块联动的显示屏，手指在机械键盘上敲击出一片密集的暴雨声。

林星石站在指挥台前，默默开启了系统的“8级效果”——超频。

在中芯工程师眼里，这群人简直就是不知疲倦的怪物。

以前，中芯的一组实验数据出来，工艺工程师需要用excel拉表，做图，分析，开会讨论，这一套流程走下来，最快也要三五天。

而现在？

数据刚从机台上传到服务器，星火工程师编写的python自动化脚本就像嗅到血腥味的鲨鱼一样扑了上去。

清洗、分类、建模、回归分析。

屏幕上的代码疯狂滚动，五颜六色的良率分布图（wafer map）实时生成。

“光刻部注意，第13号机台在曝光边缘区域存在焦距漂移，建议调整leveling参数，补偿值已发送。”

“刻蚀部，poly cd在wafer中心偏大，建议降低边缘气体流量2m。”

一个个指令从机房发出，精准、冷酷、不带一丝犹豫。

原本需要一周的数据分析时间，被硬生生地缩短到了两个小时！

中芯的老工程师们拿着平板电脑，看着上面详尽到每一个晶体管的分析报告，手都在抖。这哪里是做工艺，这简直是在开挂！

在林星石的亲自坐镇下，星火eda工具平台展现出了恐怖的统治力。