第473章 里程碑时刻（1/2）

胡中玥之所以这么着急，是因为云枢科技在芯片方面取得了极大的进展。

几分钟前，asm-洁玥沪上研发中心爆发出了极大的欢呼声，他们一直在努力的，光刻机与钌互联工艺的匹配，完成了！

这就意味着，第一条90nm钌互联中试生产线可以很快完成建设，进入实际运行阶段了！

所谓中试线，就是介于实验室研发和大规模量产之间的工程化验证平台，能测试设备在真实环境中的运行情况，能进行小批量的晶圆生产，以便随时调整优化参数。

这不仅是华国半导体制造领域的关键里程碑，也是全世界半导体领域的重大突破。

用金属钌代替传统的铜，作为芯片内部的导线材料，电阻更低，在高电流下更稳定，芯片的能效和寿命也相应提高了，制造成本随之下降。

最重要的是，钌互联的专利捏在我们手里，他们想用，得拿其他我们需要的专利来换！

这次，华国不会再被国外卡脖子，我们和他们站在同样的位置，看谁跑得快！

而上个月，供应商那边也传来好消息，国产的钌专用抛光液也搞出来了！

目前最迫切，最要努力的，是氯气提纯的问题。

氯气是钌刻蚀环节所需要的核心反应气体，如果氯气不纯，会导致钌互联线短路，良率下跌。

但氯气提纯很不容易，主要是依赖低温精馏，以及吸附剂，对存储器的要求很高，必须要用特制的钢瓶。