第174章 光刻成功（2/2）

我会和大家一起，守在车间里，直到第一批芯片合格出厂。”

众人轰然应诺，立刻行动起来。

王志带着技术专家们直奔光刻机车间，开始调试设备，准备硅片提纯。

谢三元跑去元件五厂，安排射频组件零件的生产。

工人们也纷纷回到岗位，穿戴好防静电服，做好生产准备。

程实没有休息，他先去了硅片提纯车间。

看着工人们按要求启动熔炉，看着硅锭在高温下慢慢融化、提纯，他才放心地走向光刻机车间。

光刻机车间里，王志正带着工程师们调整设备参数。

程实走过去，仔细查看了光源系统和物镜系统，说道：“光源功率再调高 5%，确保深紫外光的强度足够。

物镜的焦距再微调一下，保证成像精度。”

工程师们立刻按要求调整，程实又叮嘱道：“光刻胶涂敷要均匀，厚度控制在 0.5 微米，涂敷后要进行前烘，温度 90c，时间 60 秒。”

王志点点头：“都按你说的来，我们已经做了好几次试验，参数都摸透了。”

程实走到晶圆装载区，看着工人小心翼翼地把提纯后的硅片装到光刻机上，眼神专注。

他知道，每一个步骤都不能马虎，这关系到战鹰 1 号的成败，关系到国家的国防安全。

接下来的几天，程实几乎吃住都在车间里。他每天只睡四个小时，其余时间都在各个生产环节巡查指导。

遇到问题，立刻现场解决；发现偏差，马上调整参数。

硅片提纯车间里，工人们轮流值守，盯着区熔炉的温度和纯度检测数据，确保每一片硅片都达到 9 个 9 的纯度。

有一次，纯度检测发现有一个批次的硅片纯度差了 0.00000001%，程实毫不犹豫地让人把整批次硅片都销毁了。

“同志们，” 程实站在车间里，对着工人们说，“我们生产的不是普通芯片，是国家的国防利器。

差一丝一毫都不行，宁可销毁，也不能让不合格的产品流下去。”

工人们都被程实的严格要求打动了，做事更加认真仔细。

光刻机车间里，程实亲自操作光刻机，进行第一片晶圆的光刻。

他盯着屏幕上的电路图案，手指精准地控制着设备的每一个动作。

当第一片晶圆光刻完成，经过检测，电路图案的精度完全符合要求时，车间里爆发出一阵压抑的欢呼。

“成功了！光刻成功了！” 工程师们激动地互相拥抱。

程实脸上露出一丝疲惫但欣慰的笑容，说道：“好样的！接下来就是蚀刻和镀膜，大家继续加油，不能松懈。”

蚀刻车间里，等离子体蚀刻机正在高速运转。

程实站在旁边，看着蚀刻后的晶圆，通过电子显微镜仔细观察蚀刻的深度和均匀性。“深度刚好，均匀性也达标。”

他满意地点点头，“可以进行下一步镀膜了。”