第59章 寻找‘光刻\’(2/2)
“那现在…我们怎么维持‘海蛟’的生产?”林薇追问,声音带着一丝不易察觉的干涩。吴工没有直接回答,而是示意林薇跟着他,走进了旁边一个相对小一些、设备也略显陈旧的车间。
“这边是我们的‘优化攻坚区’,也是现在最忙的地方。”这里的气氛与主洁净室的精密肃穆不同,多了几分紧张和烟火气。工程师们围在几台明显是国产或老旧型号的光刻设备旁,有的在仔细调试复杂的参数,有的在拆解部件进行深度清洁和检查,有的则对着电脑屏幕上的模拟数据和设计图激烈讨论。
空气中弥漫着焊锡、酒精和润滑油混合的味道。
“这台,”吴工指着一台外壳有些磨损、铭牌模糊的设备,“是我们国产‘上微电子’攻关多年的深紫外光刻机原型机,精度和稳定性离阿斯麦那台还有差距。这台,”他又指向另一台更老旧的机器,“是早些年从日本买的二手货,精度只能支持40纳米以上制程。”
林薇看着这些“老弱病残”,心不断下沉。靠这些,能撑起“海蛟”的量产?
“没办法,只能‘螺蛳壳里做道场’!”吴工的声音却带着一种近乎倔强的昂扬,“没有阿斯麦的金刚钻,我们就把手里这些‘铁杵’磨成针!”
他带着林薇走到一台正在运行的国产光刻机前。屏幕上显示着复杂的控制界面和实时监控数据。一个年轻的工程师正全神贯注地盯着屏幕,手指在键盘上快速敲击,不时在旁边的笔记本上记录着什么。
“小杨,给林工讲讲你们组的‘蚂蚁啃骨头’。”吴工说道。叫小杨的工程师抬起头,推了推眼镜,脸上带着熬夜的黑眼圈,眼神却很亮:“林工,我们组负责‘光刻工艺优化’。这台国产机,原设计指标是勉强达到28纳米。但实际生产中,良率低、波动大,成本根本下不来。怎么办?只能死磕!”
他调出一组对比数据图:“我们像绣花一样,一个参数一个参数地调!曝光能量、焦距、对准精度、光刻胶配比、显影时间…每一个环节都拆解成几十个微变量,反复实验,建立模型!用数学和无数次失败的经验,去硬生生‘挤’出那一点点性能!”
他又指向旁边一位正在显微镜下仔细观察晶圆的老工程师:“张工他们负责‘缺陷分析’,拿着放大镜,在显微镜下,一寸寸地‘扫雷’,找出每一个导致芯片失效的微小缺陷点,再倒推回去,改进工艺或者设备维护流程。”
“还有王工他们,”吴工补充道,指着另一组正在对老旧日本光刻机进行“魔改”的工程师,“把40纳米的‘老爷机’拆了装,装了拆,加装我们自己设计的补偿模块,优化光路系统,硬是把它稳定在了接近28纳米的水平上!虽然产量低,但关键时候能顶上!”
车间里,没有人抱怨,只有键盘敲击声、仪器运转声和低声讨论的技术术语。汗水浸湿了他们的额发,在无尘服内闷热难当,但每个人的眼神都专注而坚定,都在进行一场无声的战役。
林薇看着屏幕上那些密密麻麻的优化参数记录,看着工程师们布满血丝却无比专注的眼睛,看着老工程师在显微镜下那几乎凝固的姿态…一股难以言喻的震撼和敬意从心底油然而生。
这不是在尖端设备上的挥斥方遒,这是真正的“匠人精神”!是在极其有限的条件下,用超乎寻常的耐心、智慧和近乎偏执的坚持,一点一滴地“抠”出性能,“磨”出良率!蚂蚁啃骨头,愚公移山!
“就是这样,”吴工的声音带着一丝沙哑的自豪,也带着沉重的压力,“靠着这些‘笨办法’,靠着兄弟们没日没夜的死磕,我们硬是把28纳米‘海蛟’的良品率,从最初的不到30%,提升到了现在的65%以上!勉强达到了量产盈利的生死线!给‘星耀’的中低端产品,续上了命!”
他走到车间中央,拿起一片刚刚完成光刻工序的硅晶圆。薄薄的晶圆在灯光下反射出彩虹般的光泽,上面布满了肉眼无法分辨的、密集到令人头皮发麻的微小电路图案。
“林工,你看,”吴工将晶圆小心翼翼地递给林薇,眼神就像看着稀世珍宝,“这就是我们的‘海蛟’。它不是最先进的,它诞生在封锁和困境中,它上面凝聚着无数工程师的血汗和智慧。它不完美,但它活着!它是我们龙国芯片人,在黑暗里摸索,用尽力气凿出来的一道光!”
林薇接过那枚薄薄的晶圆,感受着它冰冷的触感和难以想象的精密。透过无尘面罩,她看着晶圆上那形同星辰大海般复杂的微观世界,仿佛看到了吴工、小杨、张工、王工…看到了无数个在“光刻”这座科技珠峰脚下,默默耕耘、艰难攀登的身影。
“光刻”的巨匠被锁在门外。但寻找“光刻”的微光,却在这些衣衫被汗水浸透、眼神却无比坚定的工程师们手中,倔强地亮着。这道光虽然微弱,却正在刺破封锁的阴霾,照亮前行的道路。