第302章 汤渺到来（1/2）

第二日一早，吕辰、宋颜、谢凯三人乘车前往位于杨浦区军工路1146号——上海机床厂。

相比于胶片厂、试剂厂的化学气息，红星轧钢厂出身的三人，更喜欢机床厂区的金属切削液和机油气味。

对他们来说，机床厂排列成行的龙门刨床、立式车床、万能铣床等工业母机，忙碌的工作，各种精密零件，才是熟悉的气息。

递交“星河计划”光刻组精密机械需求清单的过程异常顺利，甚至不能称之为递交，更像是内部的文件流转确认。

“宋教授、吕辰同志、谢凯同志，一路辛苦了！”技术科的孙科长热情地迎上来握手，“刘工从长春打来过电话，说你们这几天到。清单的草案我们早就研究过了，刘工在长光所那边，和我们、哈工大、武水院的专家开了好几次电话会，逐条推敲的。”

会议室里，孙科长将一份装订整齐的技术文件推到三人面前。封面上印着《“星河计划”光刻机精密机械子系统技术要求（v2.3）》的字样，右下角标注着参与单位：长春光机所、哈尔滨工业大学、武汉水利电力学院、上海机床厂、清华大学、红星工业研究所。

“这是根据各方反馈整合后的正式版。”孙科长翻开文件，指着一处用红笔修改的地方，“比如这个‘工作台定位精度±0.1微米’，武水院的专家结合未来洁净厂房微振动控制的数据，建议改为±0.08微米，更符合实际工况。我们和长光所、哈工大论证后采纳了。”

吕辰快速浏览着文件，心中涌起一股暖流。

这不再是他们最初那份略显理想化的清单，而是凝聚了全国多个顶尖单位智慧的、可执行可验证的技术规范。

每一处修改背后，都可能是一次长途电话会议、一叠演算纸、甚至是一轮激烈的技术争论。

宋颜教授感慨道：“孙科长，看到这份文件，我们更深切地感受到‘星河计划’不是一个人在战斗。刘工在长光所一线攻坚，你们在后方夯实基础，哈工大、武水院提供专项支撑……这才是真正的全国一盘棋。”

“一家人不说两家话。”孙科长笑着摆摆手，“刘工是我们厂派出去的骨干，他在长光所代表的不光是光机组，也带着我们机床厂全体技术人员的期望。这份清单上的每一个指标，都关系到未来光刻机能不能造出来、造出来能不能用。我们厂党委专门开了会，把配合‘星河计划’列为头等重要的政治任务和技术攻坚方向。”

接下来的讨论更像是一次项目进度同步会。

孙科长详细介绍了机床厂目前的准备情况：“气浮导轨的原理样机已经完成，用的是你们红星所提供的‘掐丝珐琅’电路板做控制，目前静态悬浮稳定性达到设计要求的。

里面用表格形式列出了不同配方陶瓷的密度、硬度、抗弯强度、断裂韧性、热膨胀系数等基础性能，还有在几种常见酸碱中的腐蚀速率数据。

数据很详细，看得出材料中心在这方面确实积累了相当扎实的研究基础。

“腐蚀数据里……没有氢氟酸？”吕辰注意到一个问题。

叶谈推了推眼镜：“说实话，之前我们根本没想过要把陶瓷材料用在氢氟酸环境。大家都知道氢氟酸是‘什么都能吃’的，所以我们的腐蚀测试主要集中在硫酸、盐酸、硝酸这些常见强酸，以及碱液。氢氟酸……太特殊了。”

“但你们根据材料特性推断，氮化硅应该能扛住？”谢凯问。

汤渺教授接过话头：“从化学键角度分析，氮化硅的si-n键非常稳定，氟原子很难取代氮原子。而且氮化硅表面会形成一层致密的二氧化硅保护膜，虽然二氧化硅本身会被氢氟酸腐蚀，但那层膜非常薄，且腐蚀后可能形成新的保护机制。当然，这些都是理论推测，需要实验验证。”

他顿了顿，语气变得严肃：“小吕，你们在上海提出的这个需求，如果真能实现，对我们材料中心来说是一个重大的应用突破。过去我们研究这些高性能陶瓷，主要瞄准的是机械加工、耐磨部件这些方向。但如果能在化工耐腐蚀领域打开局面，那市场前景和应用价值就完全不同了。”

车子抵达岳阳路的中科院有机化学研究所时，已是下午五点十分。

夕阳西斜，给红砖楼群镀上一层暖金色。