第292章 扫描电镜（2/2）

顾赟激动地站起来：“我这就写报告，向所领导申请立项！不，我直接去找所长，今天下午就开协调会！”

这时，吕辰想起一件事：“关于温度控制……我们红星所正在研发‘红外测温’技术，可以非接触式测量物体表面温度，精度很高，响应速度快。”

他顿了顿，语气变得谨慎：“但这项技术，目前还处于保密阶段，主要面向国防和重点工业应用。”

顾赟立刻明白：“我懂。我会以真空所名义，正式向红星所提出技术协作申请，走正规渠道，报上级批准。如果‘红外测温’能用到我们的沉积系统上，实现在线监测基片表面真实温度，那将是革命性的进步！”

会议气氛热烈起来，三方人员围在黑板前，你一言我一语，讨论技术细节、分工方案、时间节点。

吕辰看着这些眼睛发亮的研究人员，心中感慨。

他们此刻讨论的，还只是一些简陋的辅助设备、粗糙的数据采集系统。

但在未来，这些尝试将催生出中国的第一代半导体工艺设备，从手动控制的cvd炉，到半自动的淀积系统，再到完全计算机控制的集群式薄膜生长设备。

从“老师傅的手感”到“工艺规范数据库”，从“观察浮子”到“质量流量控制”，从“估计厚度”到“在线膜厚监测”——这条路漫长而艰难，但今天，就在这间简陋的会议室里，第一步已经迈出。

会议持续到中午。

真空所食堂送来了午饭，高粱米饭、白菜炖豆腐、咸菜疙瘩。

大家就着茶水，一边吃一边继续讨论。

文昭南教授提出了一个想法：“宋教授，对于将工艺‘数据化’，我深表赞同。不过，我们现有的检测手段，无论是干涉法测厚，还是电测法测阻，得到的都是宏观、间接的‘结果’参数，无法反映薄膜生长过程中的微观状态变化。”

“我在想，我们能否设法做一个设备，结合我们真空所对电子束的控制经验，学和微弱信号检测方面的理论优势，共同研制一台，嗯，或许可以叫它‘电子探针表面分析以及北大、清华等学校在电子光仪’的原型机？”

他继续阐述道：“它的目标不一定非要达到原子级别的精度，而是专注于解决我们最头疼的几个问题，一是薄膜表面的真实形貌，是否平整、有无凸起或孔洞；二是微小区域的成分是否均匀，比如是否出现杂质偏聚。哪怕分辨率只能做到亚微米级，并能对几个微米大小的区域进行简单的成分激发和光谱分析，对我们理解工艺、建立‘参数-结构-性能’的关联，就是革命性的进步了。”

文昭南教授建议道：“这个目标，我觉得以‘星河计划’协调的力量，加上电子管厂在电子枪和真空部件制造上的经验，是‘跳一跳可能够得着’的。它既能作为未来更高级电镜的技术预研和人才培养，又能立即服务于我们当前工艺优化的迫切需求。你们看，这个方向是否值得探讨？”

这样一个提议，既解决了对“看见微观世界”的终极需求，又脚踏实地、目标合理。

吕辰内心震动，他语气带着压抑不住的兴奋：“文教授，您这个想法太关键了！一针见血！ 我们刚才一直在讨论如何把‘艺术’变成‘科学’，但所有的‘科学’都必须建立在‘观测’的基础上。如果我们连薄膜表面到底是什么样子都看不清，里面的原子是怎么排列的都不知道，那所有的工艺优化都像是在蒙着眼睛调整一台精密的钟表。”

他走到黑板前，在刚才画的晶体管旁边，画出一个简化的sem原理图，电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室、探测器。

“这不是一个独立的仪器，文教授。这是为我们整个‘星河计划’打造的‘工业眼睛’。光刻需要检查掩模版的缺陷，薄膜沉积需要观察膜层质量和界面，甚至未来检测芯片的失效点，都离不开它。您提议的，正是打通从‘工艺’到‘认知’最关键的一环。”

紧接着，他迅速将宏伟蓝图拉回到现实：“当然，我们不可能一上来就造出这样的电镜。但我们可以定一个清晰的、分阶段的目标，先造一台‘看得见’的机器。分辨率不追求纳米级，先做到亚微米级，能让我们看清薄膜表面的颗粒、裂纹和针孔，这已经比光学显微镜飞跃了一大步。”

宋颜教授也立刻意识到这个提议的极端重要性和可行性，他接过话头：“文教授这个提议，具有重大的战略意义。它不仅仅是真空所的需求，更是‘星河计划’全链条的共性需求。半导体所需要观察硅单晶的缺陷，长光所需要检测光刻镜头的污染和镀膜质量，我们集成电路实验室未来更需要它来分析失效机理。”

他快速勾勒出一个联合攻关的框架：“这件事，必须由‘星河计划’领导小组来牵头协调。清华和北大的电子物理、电子光学教研室有理论基础；长光所有最精密的光-机加工能力，可以负责镜筒和样品台的精密机械部分；真空所有真空系统和电子枪的经验；电子管厂能生产核心的阴极和高压电源；而我们红星所，可以贡献控制电路，以及系统集成的经验。这正是一次完美的‘全国一盘棋’协作。”

他看向顾赟和文昭南：“顾工，文教授，我建议我们今天就把这个设想作为一个正式的合作意向，写入会议纪要。我下午向刘星海教授和‘星河计划’领导小组汇报，申请将它列为紧急预备项目，协调各单位的顶尖力量组成‘电子光学仪器攻关协作组’。我们可以先从一个可行性研究和方案设计开始。”

顾赟当即提出具体启动方案：“好，既然宋教授负责申请项目，那我们这就立刻开始做事，不等全部批复。首先，拜托文教授联系北大和清华，尽快整理一份关于扫描电镜和电子探针的物理原理、核心参数、技术难点的最简报告，特别是电磁透镜的设计公式和像差理论。其次，我立即联系电子管厂，盘点我们现有哪些部件可以直接用或改造。”

他顿了顿：“我看，我们可以把最难的‘高分辨率成像’放一放，先利用电子管厂生产示波管的技术，制造一个简单的次级电子探测器。哪怕最初成像粗糙，只要能证实电子束轰击样品能产生可探测的信号，就是胜利的第一步。”

会议的气氛会从探讨具体工艺合作，瞬间升维到一项激动人心的国家级尖端仪器攻坚战的起点。

文昭南的提议像一颗火种，瞬间点燃了吕辰团队心中早已准备好的干柴。

这让他感到极大的鼓舞和欣慰，因为他发现自己的“远见”不仅被听懂了，更被一个拥有强大执行力和资源协调能力的团队接住了，并且瞬间被赋予了清晰的路径和国家的重量。

临走前，顾赟郑重地将三个木盒交给宋教授：“这是我们所能做出的最好的氮化硅、二氧化硅、金属铝薄膜样品，每种三片。还有我们历年的实验记录摘要副本。请带回红星所，作为合作的基础。”

“我们一定全力以赴。”宋颜教授握着顾赟的手，“回去后，我们立即组织团队，制定详细合作方案。”

“好！我们等你们的好消息！”

走出真空所，已是下午两点多。

冬日的阳光斜照在红砖楼上，给这座沉默的“战斗堡垒”镀上一层金色。