第286章 冰城机械心（2/2）
会议室不大，摆着一张长条会议桌和十几把木椅。
墙上挂着毛主席像和“自力更生，艰苦奋斗”的标语。
桌上放着几个搪瓷茶杯，暖水瓶冒着热气。
“坐，坐！”包康建招呼大家坐下，“一路辛苦了，先喝口热水暖和暖和。”
宋颜喝了一口水，直接切入正题：“包教授，我们这次来，主要是通报‘星河计划’各组的进展，特别是长光所光刻组和半导体所材料组的情况，同时提交一份技术清单，需要哈工大在精密机械方面提供支持。”
他从公文包里取出几份文件，一份递给包康建，其余分发给在座的其他人。
“这是长光所最新的光刻测试报告。”宋颜翻开文件，“目前他们在实验室环境下，已经能在玻璃基板上稳定实现五微米线宽的图形曝光。但问题很多：边缘粗糙、宽度不均匀、套刻误差大……”
他详细介绍了光刻机面临的技术瓶颈：光源不稳定、物镜像差、工作台定位精度不够、温度变化导致热胀冷缩、振动干扰……
“长光所那边认为，”宋颜继续说，“机械部分是当前最大的短板之一。工作台的重复定位精度、运动平稳性、抗振动能力，直接决定了光刻图形的精度和成品率。”
包康建认真翻阅着报告，眉头微皱。
吕辰接着补充：“半导体所那边，高纯度单晶硅的区域熔炼技术也有进展，目前能稳定提供6n纯度的硅材料。但大直径硅锭的成功率不到百分之十。问题主要在热场不均匀、熔体对流不稳定。这需要精密的热场设计和温度控制，本质上也是机械和传热问题。”
谢凯拿出了另一份文件：“这是我们根据在长光所的讨论，整理出的机械部分关键技术清单。”
包康建接过清单，仔细阅读。
清单上列着十几个具体问题，每个问题都附有简要的技术描述和期望目标。
工作台运动精度与稳定性：如何实现1微米级的定位精度和重复定位精度？如何克服±5°c环境温度波动导致的材料热胀冷缩？如何隔离地面振动和机器自身振动？
闭环反馈控制：是否可能引入气浮平台减少摩擦？能否开发基于激光干涉仪的位移测量与反馈系统？控制响应频率需要达到多少赫兹？
其他的诸如套刻对准系统、精密传动机构、热管理与温度控制、振动隔离、材料与结构、长期稳定性等
每一个问题都直指精密机械的核心难点。
会议室里安静下来，只有纸张翻动的沙沙声和暖气管片的嗡鸣。
哈工大的几位老师传阅着清单，表情越来越严肃。
王副教授道：“宋教授，宋教授，这份清单……要求很高啊。微米级定位精度，在实验室环境下，我们通过精心调试能做到。但要稳定、可重复，还要抵抗温度变化和振动干扰……这需要系统性的解决方案，不是单点突破能解决的。”
李老师接话：“尤其是闭环控制。我们现在做的机床，大多是开环控制——给个指令，走到哪算哪。靠的是传动机构本身的精度。要闭环，就要有高精度的传感器、快速的控制算法、响应速度够快的执行机构……这一套系统，我们没做过。”
孙老师比较年轻，说话更直接：“激光干涉仪我听苏联专家讲过，原理知道，但咱们国内做不出来。气浮平台更不用说了，那东西要压缩空气，要精密节流阀，要气路设计……咱们连见都没见过。”
包康建等大家都说完，缓缓开口道：“清单上的问题，都是真问题。有些我们想过，有些没想到这么深。宋教授，你们提的这些，不是‘改进’，是‘革命’——要颠覆我们现有的机械设计理念和方法。”
他顿了顿，目光扫过吕辰和谢凯：“不过，既然‘星河计划’定了这个方向，哈工大没有退缩的道理。我们在精密机械、仪器制造方面有积累，有队伍，有条件攻坚。”
宋颜点点头：“包教授，我们不是要求马上解决所有问题。这份清单，是‘星河计划’未来三到五年需要攻克的技术目标。”
包康建点头：“这样也行，清单我们先留下，组织骨干力量研究一下，看看哪些能做，哪些需要外协，哪些还得从头摸索。”
他看了看表：“今天时间不早了，你们一路奔波，先休息。我已经安排好了招待所，晚饭咱们一起吃，边吃边聊。明天上午，我们组织一个正式的技术研讨会，把相关教研室的老师都叫来，咱们系统性地讨论。”
这个安排合情合理。
技术问题复杂，不是一两次会议能定下来的，需要充分酝酿。
“好，听包教授安排。”宋颜表示同意。
包康建叫来一个年轻助教：“小张，带宋教授他们去招待所。安排好房间，缺什么直接跟我说。”
小张二十多岁，戴着眼镜，文质彬彬：“宋教授，吕辰同志，谢凯同志，请跟我来。”
招待所在校园深处，是一排平房，红砖灰瓦，看起来很简朴，但室内干净暖和。
房间不大，每间两张单人床，铺着洁白的床单，有书桌和椅子。
暖气片很热，窗玻璃上结着美丽的冰花。
安顿好后，小张说：“晚饭六点，在教职工食堂。到时候我来接你们。”
“谢谢。”宋教授道谢。
小张离开后，三人简单洗漱了一下，坐在房间里休息。
“哈工大的氛围，很扎实。”谢凯望着窗外说，“能感觉到那种务实的工科气质。”
宋颜点头：“哈工大是工程技术人才的摇篮，机械、土木、电气都是强项。这里的老师，很多有苏联留学背景，理论扎实，实践经验也丰富。”
“包教授他们需要时间研究清单，这是对的。”吕辰说道，“精密机械是个系统工程，涉及材料、结构、控制、测量多个学科。不能急。”
谢凯翻开笔记本：“我在想，除了光刻机的工作台，哈工大还能在‘星河计划’里发挥什么作用？”
吕辰肯定道：“存储设备。”
“存储设备？”宋颜看向他。
“对。”吕辰语气笃定，“教授，谢凯，你们想过没有，如果‘星河计划’成功，我们造出了集成电路，造出了计算机，那数据存哪里？”
他停下来，认真地说：“计算机不能只有运算单元，还得有存储单元。现在的计算机用磁鼓、磁芯存储器，体积大，速度慢。未来，计算机要小型化、普及化，必须要有新的存储技术。”
谢凯若有所思：“你是说……磁盘？我在资料上看到过，ibm好像在研究磁盘存储系统，用的是可移动磁盘组。”
“对，但也不全是。”吕辰说，“磁盘存储是个方向，但还有磁带、甚至未来的机械硬盘，这些都是精密机械的产物。磁头要在高速旋转的盘片上方微米级高度飞行，精准定位磁道；电机要稳定驱动盘片每分钟几千转；机械臂要快速准确移动……所有这些，都是超精密机械问题。”
他越说越兴奋：“而现在，国外这些技术也刚起步。如果我们现在就开始预研，和集成电路同步发展，将来在计算机整机系统上，我们就能掌握主动权，而不是等芯片造出来了，再去求别人买存储设备。”
宋颜沉思片刻：“这个思路很有前瞻性，但会不会太远了？我们现在连芯片还没造出来。”
“不，教授，正是要同步。”吕辰坚定地说，“集成电路是计算机的大脑，存储设备是计算机的记忆。大脑和记忆必须匹配发展。而且，存储设备的研发周期可能比芯片还长，机械系统的迭代需要更多时间和经验积累。”
他走到书桌前，拿起纸笔，快速画了一个简图：“你看，这是磁盘存储的基本原理。盘片、主轴电机、磁头、音圈电机、控制电路……每一个部分都需要精密机械技术。哈工大在电机、传动、控制方面有基础，完全可以从这个方向切入，为‘星河计划’储备未来技术。”
谢凯凑过来看：“这个思路好，而且存储设备不光是计算机用，未来的工业控制系统、数据采集系统，都需要可靠的存储介质，应用前景广阔。”
宋颜缓缓点头：“有道理，我看一会儿我们就去通个电话请示刘教授，看看他怎么说。明天研讨会上，我们可以把这个方向提出来，看看哈工大这边的反应。如果他们有兴趣，可以作为‘星河计划’的长期分支课题。”
三人又讨论了一会儿细节，躺在床上简单休息了一会。
不知不觉就睡着了。